在半導體體行業(yè)線寬越做越小,其對氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量的要求也越來越高。線寬下對超純氮氣的要求,氬氣氣體批發(fā),高純氮氣(PN2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。(N2):系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管,閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥。
1、可燃氣體的燃爆限,從安全的角度出發(fā),在制備標準氣體之前,必須對標準氣體混合的可行性進行研究。特別要考慮各組分氣體的燃爆極限,江蘇氣體,在制備由可燃氣體和氫氣(或氧氣)組成的標準氣體時,要注意組分氣體含量是否超過燃爆限的問題。否則在制備過程中,可能發(fā)生燃爆事故。燃爆限是可燃性氣體的重要技術(shù)數(shù)據(jù)。在配制含有可燃氣體組分的標準氣體前,必須了解該組分的燃爆限,以確保安全。
2、氣體的飽和蒸氣壓及其他性能,要了解各組分的飽和蒸氣壓及其他性能,考虎是否會產(chǎn)生冷凝作用、標準氣體中組分與鋼瓶同僻壁材質(zhì)之間的作用、各組分間的反應等。
1、烷烴類:(CH4)、C2H6)、丙烷(C3H8)、(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、異丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、(CH3Cl)、(C2H5Cl)、(CHF3)、(C2H4O)、(AsH3)、(PH3)、(B2H6)、(SiH4)等。
2、烯烴類:(C2H4)、(C3H6)、丙二烯(C3H4==)、1-丁烯(1-C4H8)、異丁烯(i-C4H8)、反-2-丁烯(t-2-C4H8)、順-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6)、1.3-丁二烯(1.3-C4H6)、(C2H3Cl)等;
3、炔烴類:(C2H2)、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6)、(C3H4)、(C4H4=≡)等;
4、其他:(C2H6O)、甲硫醇(CH4S)、熏蒸劑(C2H4O-CO2)等。